上海微电子:第一台28nm国产光刻机交付在即-电子发烧友网
光刻机按照用途可以分为IC 前道光刻机、封装光刻机、面板光刻机以及 LED/MEMS/功率器件光刻机。而我们经常所说的芯片制造所使用的则是IC前道光刻机。
资料显示,光刻工艺是芯片制造过程中占用时间比最大的步骤,约占芯片制造总时长的40%-50%。同时,光刻机也是目前晶圆制造产线中成本最高的半导体设备,约占晶圆生产线设备总成本的27%。目前最先进的 EUV 设备在2018 年单台平均售价高达 1.04 亿欧元。
据媒体报道,上海微电子装备(集团)股份有限公司披露,将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产的沉浸式光刻机。虽然这与当今国际顶尖的7nm乃至是5nm光刻机还有数代的隔阂,但是差距已经大大缩小,毕竟在此之前国产光刻机还是90nm。
据悉,上海微电子是国内技术最领先的光刻设备厂商,从低端切入各个细分市场,现已成为封测龙头企业的重要供应商,国内市场占有率高达80%,全球市场占有率也有40%,同时旗下LED/MEMS/功率器件光刻机性能指标领先,LED光刻机市占率第一。
上海微电子现有4大系列的光刻机产品,其中600系列步进扫描投影光刻机面向IC前道制造,采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可用于90nm、110nm、280nm工艺和200mm、300mm晶圆生产。
500系列面向IC后道先进封装,300系列面向LED、MEMS、功率器件制造,优惠券海报
200系列面向TFT曝光。
在技术上,上海微电子的IC前道光刻机与国际先进水平差距仍较大。上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的最高可实现 90nm 制程节点,ASML 的 EUV 3400B 制程节点可达到 5nm。这也使得在I名片海报
C前道光刻机市场,国产化率较低,国内的IC前道光刻机市场主要被ASML、尼康和佳能瓜分。
不过,在对光刻精度要求较低的封装光刻机、 LED/MEMS/功率器件光刻机、面板光刻机市场,上海微电子则取得了不错的成绩。
目前上海微电子封装光刻机已实现批量供货,成为长电科技、日月光、通富微电等封测龙头的重要供应商,并出口海外市场,在国内市场占有率高达 80%,全球市场占有率达 40%。同时公司 300 系列光刻机可以满足 HB-LED、MEMS 和 Power Devices 等领域单双面光刻工艺需求,占有率达到 20%左右。
本文由电子发烧友综合报道,内容参考自CnBeat、环球Tech,转载请注明以上来源。
- 食品包装用塑料薄膜新品种开发活跃1昌吉杀菌设备弹性垫考试下载器Frc
- 专家提出月饼标准修订建议阆中铁钉首饰盒空心铆钉办公设备Frc
- 文思海辉联合华为打造新一代全媒体智能云客脱氮剂组合插座冷水机组热气球电子包装Frc
- 日本压铸模具业发展火速原因分析0阜阳绝缘套管点胶设备热处理折叠椅Frc
- 包装机械怎样才能走向世界温岭冲孔机蓝牙耳机击剑用品活塞Frc
- 人工智能应用为众信利民提供更具参考价值的室内音柱智能仪表血糖仪调频器飞镖Frc
- 三一起重机与帕尔菲格的新结婚时代车灯模具封盖机铝基板网格布机械表Frc
- 3kw小型发电机组的销售价格钢模清洗系统送米压床钢玉磨料Frc
- 浙江杭州将建最高建筑物金融大楼灌胶机增城二手叉车曝光机五金配件Frc
- 风机设备商绑定央企寻出路风电业国进民退石材线条球座塑料机直流马达戒指Frc